Harmonische aandrijvingen zijn onmisbare onderdelen geworden van halfgeleiderapparatuur

Harmonische aandrijvingen worden veel gebruikt in de halfgeleiderindustrie, met hun hoge precisie, lage terugslag, compacte ontwerp en hoge betrouwbaarheid,Harmonische aandrijvingen zijn onmisbare onderdelen geworden in halfgeleiderapparatuurVan waferoverdracht en fotolithografie tot etsen, verpakken en inspectie, harmonische aandrijvingen zorgen voor precieze bewegingscontrole.verbetering van de productie-efficiëntie en kwaliteit van de producten in de productie van halfgeleiders.

Wafertransferapparatuur

In de productie van halfgeleiders vereist wafertransferapparatuur een zeer precieze en stabiele bewegingsregeling.worden veel gebruikt in wafertransfer- en verwerkingsrobotsDeze robots moeten wafers efficiënt en nauwkeurig overbrengen in beperkte ruimtes en harmonische aandrijvingen zorgen voor een soepele, trillingsvrije beweging.

Fotolithografie-machines

Fotolithografie-machines zijn cruciale apparatuur in de halfgeleiderfabricage en vereisen een zeer hoge precisie.Harmonische aandrijvingen worden veel gebruikt in uitlijningssystemen en scanningsplatformen van fotolithografie-machinesDeze precisie zorgt voor de nauwkeurige uitlijning en blootstelling van patronen op wafers, waardoor de kwaliteit en de opbrengst van de chipproductie worden verbeterd.

Eetapparatuur

Etseringsapparatuur wordt gebruikt voor het maken van kleine circuitstructuren op waferoppervlakken, waarvoor een extreem nauwkeurige controle van de procesparameters vereist is.Harmonische aandrijvingen in deze apparaten rijden precieze beweging componenten om te zorgen voor een stabiele en uniforme controle van het etsen proces, waardoor een hoge procesnauwkeurigheid wordt gewaarborgd.

Inspectie- en meetapparatuur

Tijdens de productie van halfgeleiders zijn inspectie en meting van cruciaal belang om de kwaliteit van het product te waarborgen.en apparaten voor het testen van elektrische eigenschappenDe hoge herhaalbaarheid van harmonische aandrijvingen zorgt voor precisie en betrouwbaarheid in deze inspectiesystemen.

Toepassingen in vacuümomgeving

Bepaalde halfgeleiderprocessen, zoals wafercoating en -afzetting, moeten in een vacuümomgeving worden uitgevoerd.en vermogen om te werken zonder smeerolieDe harmonische aandrijvingen zijn bijzonder geschikt voor vacuümomgevingen, waardoor ze veel worden gebruikt in vacuümverwerkingsapparatuur.

Verpakkingsmiddelen

Halfrondverpakkingsapparatuur, die wordt gebruikt om chips op dragers te verpakken, vereist snelle en nauwkeurige bewerkingen.De hoge dynamische respons en de lage terugslag van de harmonische aandrijving maken het mogelijk om complexe mechanische bewegingen in verpakkingsapparatuur nauwkeurig te besturen, waardoor een hoge efficiëntie en een hoge opbrengst in het verpakkingsproces worden gewaarborgd.

Pols- en slijpapparatuur

In de backendprocessen van de waferfabricage zijn polijsten en slijpen cruciale stappen.het garanderen van de mechanische precisie tijdens het polijsten en slijpen, waardoor de vlakheid van de wafer en de oppervlaktekwaliteit verbeteren.

Toepassingen in geautomatiseerde productielijnen

Harmonische aandrijvingen worden ook gebruikt in verschillende fasen van geautomatiseerde halfgeleiderproductielijnen, waaronder robotarm, transportband en assemblageapparatuur.Hun efficiëntie en betrouwbaarheid verbeteren de automatiseringsniveaus in de gehele productielijn, waardoor de handmatige interventie en het aantal storingen vermindert.